Investigation of ultrasonic absorption in the MHz frequency range by silicon substrates with a built-in porous silicon layer
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
|---|
Article Dans Une Revue
Ultrasonics
Année : 2019
Accord Elsevier CCSD : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02382070
Soumis le : lundi 25 octobre 2021-09:32:01
Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-18:28:03
Archivage à long terme le : mercredi 26 janvier 2022-18:50:31
Dates et versions
Licence
Identifiants
- HAL Id : hal-02382070 , version 1
- DOI : 10.1016/j.ultras.2019.01.006
- PII : S0041-624X(18)30626-7
Citer
Julie Lascaud, Thomas Defforge, G. Gautier, Dominique Certon. Investigation of ultrasonic absorption in the MHz frequency range by silicon substrates with a built-in porous silicon layer. Ultrasonics, 2019, 96, pp.196-202. ⟨10.1016/j.ultras.2019.01.006⟩. ⟨hal-02382070⟩
Collections
73
Consultations
70
Téléchargements