High performance thin-film optical filters with stress compensation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of the Optical Society of America. A Optics, Image Science, and Vision Année : 2019

High performance thin-film optical filters with stress compensation

Thomas Begou
  • Fonction : Auteur
Fabien Lemarchand
  • Fonction : Auteur
Frédéric Lemarquis
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 866811
Antonin Moreau
  • Fonction : Auteur
Julien Lumeau

Résumé

We present a thorough description of high performance thin-film optical filters with high flatness. These components can combine several tens or hundreds of layers and are manufactured using plasma-assisted reactive magnetron sputtering. Stress compensation is achieved using dual side coatings with appropriate spectral function. Examples of highly reflecting mirrors at 515 nm with 15 nm flatness peak-to-valley over up to 75 mm diameter aperture, narrow bandpass filters and filters with broadband controlled transmission are described.
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
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Dates et versions

hal-02350443 , version 1 (06-11-2019)

Identifiants

Citer

Thomas Begou, Fabien Lemarchand, Frédéric Lemarquis, Antonin Moreau, Julien Lumeau. High performance thin-film optical filters with stress compensation. Journal of the Optical Society of America. A Optics, Image Science, and Vision, 2019, 36 (11), pp.C113-C121. ⟨10.1364/JOSAA.36.00C113⟩. ⟨hal-02350443⟩
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