PZT bulk acoustic wave resonators for MMIC technology - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Ferroelectrics Année : 1996

PZT bulk acoustic wave resonators for MMIC technology

S. Arscott
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
Z. Awang
  • Fonction : Auteur
Y. Tu
  • Fonction : Auteur
S. Milne
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R. Miles
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Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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Dates et versions

hal-02348161 , version 1 (05-11-2019)

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Citer

S. Arscott, Z. Awang, Y. Tu, S. Milne, R. Miles. PZT bulk acoustic wave resonators for MMIC technology. Ferroelectrics, 1996, 187 (1), pp.49-56. ⟨10.1080/00150199608244843⟩. ⟨hal-02348161⟩

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