Micromachining techniques at terahertz frequencies - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue IEE Proceedings - Circuits, Devices and Systems Année : 1998

Micromachining techniques at terahertz frequencies

S. Arscott
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
R.E. Miles
  • Fonction : Auteur
S.J. Milne
  • Fonction : Auteur

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-02348103

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hal-02348103 , version 1 (05-11-2019)

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Citer

S. Arscott, R.E. Miles, S.J. Milne. Micromachining techniques at terahertz frequencies. IEE Proceedings - Circuits, Devices and Systems, 1998, 145 (5), pp.335. ⟨10.1117/12.361055⟩. ⟨hal-02348103⟩

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