Rapid thermal processing of PZT thin films using a new triol based sol-gel route - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Ferroelectrics Année : 1999

Rapid thermal processing of PZT thin films using a new triol based sol-gel route

S. Arscott
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
R. Miles
  • Fonction : Auteur
S. Milne
  • Fonction : Auteur

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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Citer

S. Arscott, R. Miles, S. Milne. Rapid thermal processing of PZT thin films using a new triol based sol-gel route. Ferroelectrics, 1999, 228 (1), pp.61-78. ⟨10.1080/00150199908226126⟩. ⟨hal-02348071⟩

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