Substrate transfer process for InP-based heterostructure barrier varactor devices - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Année : 2000

Substrate transfer process for InP-based heterostructure barrier varactor devices

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Stephen Arscott  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02348017

Soumis le : mardi 5 novembre 2019-12:16:09

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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hal-02348017 , version 1 (05-11-2019)

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Citer

S. Arscott, P. Mounaix, D. Lippens. Substrate transfer process for InP-based heterostructure barrier varactor devices. Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures, 2000, 18 (1), pp.150. ⟨10.1116/1.591167⟩. ⟨hal-02348017⟩

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