Optical actuation of microelectromechanical systems using photoelectrowetting

Matthieu Gaudet; S. Arscott

doi:10.1063/1.4723569

Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2012

Optical actuation of microelectromechanical systems using photoelectrowetting

, (1)

1

Matthieu Gaudet

Fonction : Auteur
PersonId : 1440437
IdRef : 113052014

S. Arscott

Fonction : Auteur
PersonId : 739879
IdHAL : stevearscott
ORCID : 0000-0001-9938-2683
IdRef : 144910691

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-02345716

Soumis le : vendredi 27 mai 2022-15:27:33

Dernière modification le : mercredi 13 novembre 2024-13:23:25

Archivage à long terme le : mardi 30 août 2022-10:07:00

Dates et versions

hal-02345716 , version 1 (27-05-2022)

Identifiants

HAL Id : hal-02345716 , version 1
DOI : 10.1063/1.4723569

Citer

Matthieu Gaudet, S. Arscott. Optical actuation of microelectromechanical systems using photoelectrowetting. Applied Physics Letters, 2012, 100 (22), pp.224103. ⟨10.1063/1.4723569⟩. ⟨hal-02345716⟩

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