On-wafer probe station for microwave metrology at the nanoscale - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

On-wafer probe station for microwave metrology at the nanoscale

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Stephen Arscott  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02345596

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-15:41:09

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-02345596 , version 1 (04-11-2019)

Identifiants

Citer

A. El Fellahi, Kamel Haddadi, J. Marzouk, S. Arscott, Christophe Boyaval, et al.. On-wafer probe station for microwave metrology at the nanoscale. 2015 IEEE International Instrumentation and Measurement Technology Conference (I2MTC), May 2015, Pisa, Italy. pp.1960-1964, ⟨10.1109/I2MTC.2015.7151582⟩. ⟨hal-02345596⟩

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