Nanorobotic RF probe station for calibrated on-wafer measurements - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Nanorobotic RF probe station for calibrated on-wafer measurements

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Stephen Arscott  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02345580

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-15:38:20

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02345580 , version 1 (04-11-2019)

Identifiants

Citer

A. El Fellahi, Kamel Haddadi, J. Marzouk, S. Arscott, Christophe Boyaval, et al.. Nanorobotic RF probe station for calibrated on-wafer measurements. 2015 European Microwave Conference (EuMC 2015), Sep 2015, Paris, France. pp.163-166, ⟨10.1109/EuMC.2015.7345725⟩. ⟨hal-02345580⟩

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