Robotic on-wafer probe station for microwave characterization in a scanning electron microscope - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Robotic on-wafer probe station for microwave characterization in a scanning electron microscope

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Stephen Arscott  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02345575

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-15:37:28

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02345575 , version 1 (04-11-2019)

Identifiants

Citer

Kamel Haddadi, A. El Fellahi, J. Marzouk, S. Arscott, Christophe Boyaval, et al.. Robotic on-wafer probe station for microwave characterization in a scanning electron microscope. 2015 IEEE MTT-S International Microwave Symposium (IMS2015), May 2015, Phoenix, Arizona, United States. pp.1-3, ⟨10.1109/MWSYM.2015.7166970⟩. ⟨hal-02345575⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS UNIV-VALENCIENNES IEMN UNIV-LILLE
23 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

More