Robotic on-wafer probe station for microwave characterization in a scanning electron microscope - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02345575 , version 1 (04-11-2019)

Identifiants

Citer

Kamel Haddadi, A. El Fellahi, J. Marzouk, S. Arscott, Christophe Boyaval, et al.. Robotic on-wafer probe station for microwave characterization in a scanning electron microscope. 2015 IEEE MTT-S International Microwave Symposium (IMS2015), May 2015, Phoenix, Arizona, United States. pp.1-3, ⟨10.1109/MWSYM.2015.7166970⟩. ⟨hal-02345575⟩
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