Integrated MEMS RF Probe for SEM Station—Pad Size and Parasitic Capacitance Reduction - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue IEEE Microwave and Wireless Components Letters Année : 2015

Integrated MEMS RF Probe for SEM Station—Pad Size and Parasitic Capacitance Reduction

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Sciences de l'ingénieur [physics]

Stephen Arscott  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02345556

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-15:33:13

Dernière modification le : jeudi 25 janvier 2024-03:38:23

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Dates et versions

hal-02345556 , version 1 (04-11-2019)

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Citer

A. El Fellahi, Kamel Haddadi, J. Marzouk, S. Arscott, Christophe Boyaval, et al.. Integrated MEMS RF Probe for SEM Station—Pad Size and Parasitic Capacitance Reduction. IEEE Microwave and Wireless Components Letters, 2015, 25 (10), pp.693-695. ⟨10.1109/LMWC.2015.2463213⟩. ⟨hal-02345556⟩

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