Article Dans Une Revue IEEE Microwave and Wireless Components Letters Année : 2015

Integrated MEMS RF Probe for SEM Station—Pad Size and Parasitic Capacitance Reduction

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Dates et versions

hal-02345556 , version 1 (04-11-2019)

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Citer

A. El Fellahi, Kamel Haddadi, J. Marzouk, S. Arscott, Christophe Boyaval, et al.. Integrated MEMS RF Probe for SEM Station—Pad Size and Parasitic Capacitance Reduction. IEEE Microwave and Wireless Components Letters, 2015, 25 (10), pp.693-695. ⟨10.1109/LMWC.2015.2463213⟩. ⟨hal-02345556⟩
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