Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap

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Sciences de l'ingénieur [physics]

Stephen Arscott  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02345399

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-15:03:08

Dernière modification le : mardi 26 mars 2024-17:44:13

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Dates et versions

hal-02345399 , version 1 (04-11-2019)

Identifiants

Citer

M. Gaudet, S. Uhlig, M. Stolz, S. Arscott, H. Conrad, et al.. Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap. 2017 IEEE 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Jan 2017, Las Vegas, United States. pp.175-178, ⟨10.1109/MEMSYS.2017.7863369⟩. ⟨hal-02345399⟩

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