Metallized SU-8 thin film patterns on stretchable PDMS - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Micromechanics and Microengineering Année : 2019

Metallized SU-8 thin film patterns on stretchable PDMS

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Sciences de l'ingénieur [physics]
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Citer

Tiffany Baëtens, Emiliano Pallecchi, V. Thomy, S. Arscott. Metallized SU-8 thin film patterns on stretchable PDMS. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2019, 29 (9), pp.095009. ⟨10.1088/1361-6439/ab307f⟩. ⟨hal-02345306⟩

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