Metallized SU-8 thin film patterns on stretchable PDMS - Archive ouverte HAL Access content directly
Journal Articles Journal of Micromechanics and Microengineering Year : 2019

Metallized SU-8 thin film patterns on stretchable PDMS

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Dates and versions

hal-02345306 , version 1 (06-01-2021)

Identifiers

Cite

Tiffany Baëtens, Emiliano Pallecchi, V. Thomy, S. Arscott. Metallized SU-8 thin film patterns on stretchable PDMS. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2019, 29 (9), pp.095009. ⟨10.1088/1361-6439/ab307f⟩. ⟨hal-02345306⟩
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