Oxygen metastable molecule densities in inductively-coupled plasmas in pure O<SUB>2</SUB> measured by VUV absorption - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Oxygen metastable molecule densities in inductively-coupled plasmas in pure O2 measured by VUV absorption

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Abhyuday Chatterjee
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Olivier Guaitella
Laboratoire de Physique des Plasmas
N. de Oliveira
  • Fonction : Auteur
L. Nahon
  • Fonction : Auteur
Colin Western
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02342229

Soumis le : jeudi 31 octobre 2019-18:08:25

Dernière modification le : mercredi 30 octobre 2024-13:05:50

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02342229 , version 1 (31-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02342229 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, et al.. Oxygen metastable molecule densities in inductively-coupled plasmas in pure O2 measured by VUV absorption. 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Nov 2018, Portland, Oregon, United States. ⟨hal-02342229⟩

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