Experimental Demonstration of Multifrequency Matching for Tailored Voltage Waveform Plasma Excitation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Experimental Demonstration of Multifrequency Matching for Tailored Voltage Waveform Plasma Excitation

Sebastien Dine
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
E.V. Johnson
Junkang Wang
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02341689 , version 1 (31-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02341689 , version 1

Citer

Sebastien Dine, Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, Junkang Wang. Experimental Demonstration of Multifrequency Matching for Tailored Voltage Waveform Plasma Excitation. International Conference on Phenomena in Ionised Gases, Jul 2019, Hokkaido, Japan. ⟨hal-02341689⟩
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