Inductively coupled plasma etching of ultra-shallow Si3N4 and SiO2 nanostructures
Bruno Lee Sang
(1, 2)
,
Abdelatif Jaouad
(1, 2)
,
Serge Ecoffey
(1, 2)
,
Maxime Darnon
(3)
,
Marie-Josee Gour
(1, 2)
,
Benatou Sadani
(1, 2)
,
Abdelkader Souifi
(4)
,
Dominique Drouin
(1, 2)
Serge Ecoffey
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : serge-ecoffey
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Maxime Darnon
- Fonction : Auteur
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Dominique Drouin
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : dominique-drouin
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