Communication Dans Un Congrès
Année : 2016
Maxime Darnon : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02339972
Soumis le : mercredi 30 octobre 2019-15:49:44
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:48:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02339972 , version 1
Citer
Nader Sadeghi, Gilles Cunge, Maxime Darnon, Camille Petit-Etienne, Jerome Dubois, et al.. Velocity distribution function of ions through high-aspect ratio holes in Inductively-Coupled Plasma reactor. Plasma Etch and Strip in Microtechnologies conference, May 2016, Grenoble, France. ⟨hal-02339972⟩
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