Velocity distribution function of ions through high-aspect ratio holes in Inductively-Coupled Plasma reactor - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02339972 , version 1 (30-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02339972 , version 1

Citer

Nader Sadeghi, Gilles Cunge, Maxime Darnon, Camille Petit-Etienne, Jerome Dubois, et al.. Velocity distribution function of ions through high-aspect ratio holes in Inductively-Coupled Plasma reactor. Plasma Etch and Strip in Microtechnologies conference, May 2016, Grenoble, France. ⟨hal-02339972⟩
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