Plasma Damage of Porous Low-k Materials
Maxime Darnon
(1)
,
Thierry Chevolleau
(1)
,
Romain Hurand
(1)
,
David Fuard
(1)
,
Régis Bouyssou
(1)
,
Nicolas Posseme
(2)
,
Christophe Licitra
(2)
,
Geraud Dubois
(3)
,
Olivier Joubert
(1)
Maxime Darnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
- ORCID : 0000-0002-6188-7157
- IdRef : 124051758
David Fuard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 832696
Nicolas Posseme
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1050762