Communication Dans Un Congrès
Année : 2018
Maxime Darnon : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02338098
Soumis le : mardi 29 octobre 2019-18:48:22
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:34
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02338098 , version 1
Citer
Maxime Darnon, Névine Rochat, Christophe Licitra, Thierry Chevolleau, Romain Hurand. Interaction of humidity with plasma-damaged porous low-k. 28th Advanced Metallization Conference (ADMETA), Oct 2018, Beijing, China. ⟨hal-02338098⟩
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