Interaction of humidity with plasma-damaged porous low-k - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02338098 , version 1 (29-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338098 , version 1

Citer

Maxime Darnon, Névine Rochat, Christophe Licitra, Thierry Chevolleau, Romain Hurand. Interaction of humidity with plasma-damaged porous low-k. 28th Advanced Metallization Conference (ADMETA), Oct 2018, Beijing, China. ⟨hal-02338098⟩
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