Communication Dans Un Congrès
Année : 2018
Patrick Schiavone : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02326592
Soumis le : mardi 22 octobre 2019-15:24:01
Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05
Citer
Aurélien Fay, Alexis Girodon, Jacky Chartoire, Jérôme Hazart, Sébastien Bayle, et al.. Variable shaped beam lithography capabilities enhancement by "small-shots" correction. Photomask Technology, Sep 2018, Monterey, United States. pp.108101D, ⟨10.1117/12.2501823⟩. ⟨hal-02326592⟩
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