Pt and Au planarization for the fabrication of microand nano- structures - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Pt and Au planarization for the fabrication of microand nano- structures

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-02320606

Soumis le : vendredi 18 octobre 2019-21:24:03

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:48:02

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02320606 , version 1 (18-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02320606 , version 1

Citer

R Stricher, A Elshaer, D. Drouin, S. Ecoffey. Pt and Au planarization for the fabrication of microand nano- structures. 23rd International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization, Aug 2019, Lake Placid, United States. ⟨hal-02320606⟩

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