Poster Communications Year : 2018
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Dates and versions

hal-02311219 , version 1 (10-10-2019)

Identifiers

  • HAL Id : hal-02311219 , version 1

Cite

Gaëlle Antoun, Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Remi Dussart. INTRODUCTION AU PROCÉDÉ DE GRAVURE CRYOGÉNIQUE DU SILICIUM. 15e Congrès de la Société Française de Physique Division Plasmas, Jun 2018, Bordeaux, France. ⟨hal-02311219⟩
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