Formation and behavior of negative ions in low pressure aniline-containing RF plasmas - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Scientific Reports Année : 2019

Dates et versions

hal-02308810 , version 1 (08-10-2019)

Identifiants

Citer

Cédric Pattyn, Eva Kovacevic, Thomas Strunskus, Thomas Lecas, Johannes Berndt. Formation and behavior of negative ions in low pressure aniline-containing RF plasmas. Scientific Reports, 2019, 9 (1), pp.10886. ⟨10.1038/s41598-019-47425-9⟩. ⟨hal-02308810⟩
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