Stealth dicing with ultrafast Bessel beams with engineered transverse profiles
Résumé
We investigate high-speed glass cleaving with ultrafast laser beams with engineered transverse intensity profile. We achieve accuracy of ~ 1 µm at 25 mm/s and drastically enhance cleavability compared to standard Bessel beams.
Domaines
Optique [physics.optics]
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
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