Wafer-scale fabrication of Liquid-Crystal micro-cells for integration in 1.55 µm tunable photonic devices
Benjamin Boisnard
(1)
,
Benattou Sadani
(1)
,
Christophe Levallois
(2)
,
Thierry Camps
(1)
,
Cyril Paranthoen
(2)
,
Sophie Bouchoule
(3)
,
Laurent Dupont
(4)
,
Jean-Baptiste Doucet
(5)
,
Véronique Bardinal
(1)
1
LAAS-MICA -
Équipe MICrosystèmes d'Analyse
2 FOTON - Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
3 C2N (UMR_9001) - Centre de Nanosciences et Nanotechnologies
4 IMT Atlantique - OPT - Département Optique
5 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
2 FOTON - Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
3 C2N (UMR_9001) - Centre de Nanosciences et Nanotechnologies
4 IMT Atlantique - OPT - Département Optique
5 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Christophe Levallois
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3426
- IdHAL : christophe-levallois
- ORCID : 0000-0001-5832-0769
- IdRef : 120180545
Cyril Paranthoen
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3341
- IdHAL : cyril-paranthoen
- ORCID : 0000-0001-9670-8158
- IdRef : 101364830
Laurent Dupont
- Fonction : Auteur
- PersonId : 169857
- IdHAL : laurent-dupont29
- ORCID : 0000-0003-1355-7871
Jean-Baptiste Doucet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 754661
- IdHAL : jean-baptiste-doucet
- ORCID : 0000-0001-7063-9975
Véronique Bardinal
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4172
- IdHAL : veronique-bardinal
- ORCID : 0000-0001-9242-4457
- IdRef : 075002507