A near-field scanning microwave microscope in a scanning electron microscope: design and challenges - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2019

A near-field scanning microwave microscope in a scanning electron microscope: design and challenges

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Abstract ISPM 2019v2 A near-field scanning microwave microscope in a scanning electron microscope design and challenges.pdf (205.23 Ko) Télécharger le fichier
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Soumis le : mercredi 4 septembre 2019-15:35:10

Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-16:00:38

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Dates et versions

hal-02278736 , version 1 (04-09-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02278736 , version 1

Citer

P. Polovodov, Sophie Eliet, O. Haenssler, Gilles Dambrine, Kamel Haddadi, et al.. A near-field scanning microwave microscope in a scanning electron microscope: design and challenges. 21st International Scanning Probe Microscopy, May 2019, Louvain la Neuve, France. ⟨hal-02278736⟩

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