Article Dans Une Revue
Journal of Microelectromechanical Systems
Année : 2019
UMI3463 LN2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02273380
Soumis le : mercredi 28 août 2019-20:32:07
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:48:02
Citer
Alexandre Juneau-Fecteau, Luc Frechette. Capabilities and Limits to Form High Aspect-Ratio Microstructures by Molding of Borosilicate Glass. Journal of Microelectromechanical Systems, 2019, 28 (3), pp.432-440. ⟨10.1109/JMEMS.2019.2902066⟩. ⟨hal-02273380⟩
29
Consultations
0
Téléchargements