Article Dans Une Revue Surface and Coatings Technology Année : 1995

Dates et versions

hal-02190589 , version 1 (22-07-2019)

Identifiants

Citer

Frédéric Perry, B. Stauder, G. Henrion, Ph. Pigeat. Plasma diagnostics for the control of reactive magnetron deposition process. Surface and Coatings Technology, 1995, 74-75, pp.575-579. ⟨10.1016/0257-8972(95)08334-0⟩. ⟨hal-02190589⟩
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