Integer programming for DSA grouping and multiple lithography - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Integer programming for DSA grouping and multiple lithography

Gautier Stauffer
Vincent Juliard
  • Fonction : Auteur
Juan Andres Torres
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02148063 , version 1 (05-06-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02148063 , version 1

Citer

Dehia Ait-Ferhat, Gautier Stauffer, Vincent Juliard, Juan Andres Torres. Integer programming for DSA grouping and multiple lithography. 1st DSA symposium, Oct 2015, Grenoble, France. ⟨hal-02148063⟩
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