TCAD modeling challenges for 14nm FullyDepleted SOI technology performance assessment - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

TCAD modeling challenges for 14nm FullyDepleted SOI technology performance assessment

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Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Thierry Deutsch  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02138897

Soumis le : vendredi 24 mai 2019-11:29:33

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

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Dates et versions

hal-02138897 , version 1 (24-05-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02138897 , version 1

Citer

C. Tavernier, F. Pereira, O. Nier, D. Rideau, F. Monsieur, et al.. TCAD modeling challenges for 14nm FullyDepleted SOI technology performance assessment. 2015 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD), Sep 2015, Washington DC, France. pp.4-7. ⟨hal-02138897⟩

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