Experimental and theoretical investigation of the ‘apparent’ mobility degradation in Bulk and UTBB-FDSOI devices: A focus on the near-spacer-region resistance
D. Rideau
(1)
,
F. Monsieur
(1)
,
O. Nier
(1, 2)
,
Y. M. Niquet
(3)
,
J. Lacord
(4)
,
V. Quenette
(1)
,
G. Mugny
(1)
,
G. Hiblot
(2)
,
G. Gouget
(1)
,
M. Quoirin
(5)
,
L. Silvestri
(6)
,
F. Nallet
(7)
,
C. Tavernier
(1)
,
H. Jaouen
(1)
1
ST-CROLLES -
STMicroelectronics [Crolles]
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
3 LSIM - Laboratory of Atomistic Simulation
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 G2ELab - Laboratoire de Génie Electrique de Grenoble
6 Synopsys Switzerland LLC
7 CRPP - Centre de recherches Paul Pascal
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
3 LSIM - Laboratory of Atomistic Simulation
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 G2ELab - Laboratoire de Génie Electrique de Grenoble
6 Synopsys Switzerland LLC
7 CRPP - Centre de recherches Paul Pascal