%0 Conference Proceedings %T (Sr,La)-(Ta,Ti)-O-N perovskite oxide and oxynitride films: influence of the deposition and annealing conditions on the structure and electrical properties %+ Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR) %+ Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes (IETR) %+ Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR) %A Le Gendre, Laurent %A Le Paven, Claire %A Haydoura, Mohamad %A Benzerga, Ratiba %A Marlec, Florent %A Sharaiha, Ala %A Tessier, Franck %A Cheviré, François %< avec comité de lecture %B 10th International Symposium on NiTrides (ISNT 2019) %C Barcelone, Spain %8 2019-06-09 %D 2019 %Z Engineering Sciences [physics] %Z Engineering Sciences [physics]/MaterialsConference papers %G English %L hal-02134839 %U https://hal.science/hal-02134839 %~ UNIV-NANTES %~ UNIV-RENNES1 %~ CNRS %~ INSA-RENNES %~ ENSC-RENNES %~ IETR %~ ISCR %~ SCR_VC %~ IETR_MF %~ CENTRALESUPELEC %~ UR1-SPM %~ INC-CNRS %~ UR1-UFR-SPM %~ UR1-HAL %~ UR1-MATH-STIC %~ UR1-SDLM %~ UR1-UFR-ISTIC %~ IETR-CUTE %~ IETR-FUNMAT %~ IVER %~ IETR-ADH %~ TEST-UR-CSS %~ UNIV-RENNES %~ INSA-GROUPE %~ TEST-HALCNRS %~ UR1-MATH-NUM %~ UR1-MMS %~ IETR-STAR %~ NANTES-UNIVERSITE %~ UNIV-NANTES-AV2022