Quantitative analysis of Si/SiGeC superlattices using atom probe tomography - Archive ouverte HAL

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Article Dans Une Revue Ultramicroscopy Année : 2015

Quantitative analysis of Si/SiGeC superlattices using atom probe tomography

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Robert Estivill

Fonction : Auteur

STMicroelectronics [Crolles]

Adeline Grenier

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Sébastien Duguay

Fonction : Auteur
PersonId : 174454
IdHAL : sebastien-duguay
ORCID : 0000-0002-7039-6018

Groupe de physique des matériaux

François Vurpillot

Fonction : Auteur
PersonId : 174508
IdHAL : francois-vurpillot
ORCID : 0000-0002-6834-3507
IdRef : 061087629

Groupe de physique des matériaux

Tanguy Terlier

Fonction : Auteur
PersonId : 777956
IdRef : 19303462X

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Jean-Paul Barnes

Fonction : Auteur
PersonId : 1013804

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Jean-Michel Hartmann

Fonction : Auteur
PersonId : 925476

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Didier Blavette

Fonction : Auteur
PersonId : 174476
IdHAL : didier-blavette
ORCID : 0000-0001-6979-2155
IdRef : 061081175

Groupe de physique des matériaux

Domaines

Physique [physics]

François Vurpillot : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02107589

Soumis le : mardi 23 avril 2019-16:59:14

Dernière modification le : mercredi 4 septembre 2024-03:05:08

Dates et versions

hal-02107589 , version 1 (23-04-2019)

Identifiants

HAL Id : hal-02107589 , version 1
DOI : 10.1016/j.ultramic.2015.03.014

Citer

Robert Estivill, Adeline Grenier, Sébastien Duguay, François Vurpillot, Tanguy Terlier, et al.. Quantitative analysis of Si/SiGeC superlattices using atom probe tomography. Ultramicroscopy, 2015, 159, pp.223-231. ⟨10.1016/j.ultramic.2015.03.014⟩. ⟨hal-02107589⟩

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