CMOS BEOL compatible process for the fabrication of SET using TiN/Al2O3/TiN junctions - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02098382 , version 1 (12-04-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02098382 , version 1

Citer

B Lee Sang, S. Ecoffey, D. Drouin. CMOS BEOL compatible process for the fabrication of SET using TiN/Al2O3/TiN junctions. Micro/Nano Engineering, Sep 2016, Vienne, Austria. ⟨hal-02098382⟩
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