Communication Dans Un Congrès
Année : 2016
UMI3463 LN2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02098382
Soumis le : vendredi 12 avril 2019-15:58:16
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:48:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02098382 , version 1
Citer
B Lee Sang, S. Ecoffey, D. Drouin. CMOS BEOL compatible process for the fabrication of SET using TiN/Al2O3/TiN junctions. Micro/Nano Engineering, Sep 2016, Vienne, Austria. ⟨hal-02098382⟩
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