Plasma etching for III-V/Ge multijunction solar cells singulation
M. Darnon
(1, 2)
,
A. Jaouad
(1, 2)
,
M. De Lafontaine
(1, 2)
,
J. Belin
(1, 2)
,
B. Bouzazi
(1, 2)
,
M. Volatier
(1, 2)
,
S. Fafard
(1, 2)
,
R. Arès
(1, 2)
,
V. Aimez
(1, 2)
M. Darnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
- ORCID : 0000-0002-6188-7157
- IdRef : 124051758
V. Aimez
- Fonction : Auteur
- PersonId : 182750
- IdHAL : vaimez
- ORCID : 0000-0002-1594-3242
- IdRef : 144755300