Communication Dans Un Congrès
Année : 2017
UMI3463 LN2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02096905
Soumis le : jeudi 11 avril 2019-16:24:52
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:48:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02096905 , version 1
Citer
S. Ecoffey, D. Drouin. Nanoscale damascene processes for patterning and devices fabrication. SPIE Advanced Lithography, Feb 2017, San José, United States. ⟨hal-02096905⟩
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