Mechanical and physicochemical properties of AlN thin films obtained by pulsed laser deposition - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Superlattices and Microstructures Année : 2004

Mechanical and physicochemical properties of AlN thin films obtained by pulsed laser deposition

Domaines

Matériaux

Florent Tétard  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02095968

Soumis le : jeudi 11 avril 2019-00:35:18

Dernière modification le : jeudi 28 novembre 2024-10:49:28

Consulter sur la plateforme ISTEX

Dates et versions

hal-02095968 , version 1 (11-04-2019)

Identifiants

Citer

Florent Tetard, C. Cibert, F. Tétard, P. Djemia, C. Champeaux, et al.. Mechanical and physicochemical properties of AlN thin films obtained by pulsed laser deposition. Superlattices and Microstructures, 2004, 36 (4-6), pp.409-416. ⟨10.1016/j.spmi.2004.09.055⟩. ⟨hal-02095968⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UNILIM UNIV-PARIS13 CNRS UNIV-LYON1 SPCTS OCA IPAM LSPM_P13 GALILE IRCER UDL SORBONNE-PARIS-NORD IMPEO ACT-R
27 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

More