Functionalization of Silica Nanoparticles and Native Silicon Oxide with Tailored Boron-Molecular Precursors for Efficient and Predictive p -Doping of Silicon
Laurent Mathey
(1)
,
Thibault Alphazan
(1)
,
Maxence Valla
(2)
,
Laurent Veyre
(3)
,
Hervé Fontaine
(1)
,
Virginie Enyedi
(1)
,
Karim Yckache
,
Marianne Danielou
,
Sébastien Kerdilès
(1)
,
Jean Guerrero
,
Jean Barnes
,
Marc Veillerot
(1)
,
Nicolas Chevalier
,
Denis Mariolle
(1)
,
François Bertin
(1)
,
Corentin Durand
(4)
,
Maxime Berthe
(4)
,
Jolien Dendooven
(5)
,
François Martin
,
Chloé Thieuleux
(3)
,
B. Grandidier
(4)
,
Christophe Copéret
(2)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 ETH Zürich - Eidgenössische Technische Hochschule - Swiss Federal Institute of Technology [Zürich]
3 C2P2 - Laboratoire de Chimie, Catalyse, Polymères et Procédés, R 5265
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 UGENT - Universiteit Gent = Ghent University = Université de Gand
2 ETH Zürich - Eidgenössische Technische Hochschule - Swiss Federal Institute of Technology [Zürich]
3 C2P2 - Laboratoire de Chimie, Catalyse, Polymères et Procédés, R 5265
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 UGENT - Universiteit Gent = Ghent University = Université de Gand
Laurent Mathey
- Fonction : Auteur
- PersonId : 770144
- IdRef : 168461943
Thibault Alphazan
- Fonction : Auteur
- PersonId : 771641
- IdRef : 174221797
Karim Yckache
- Fonction : Auteur
Marianne Danielou
- Fonction : Auteur
Jean Guerrero
- Fonction : Auteur
Jean Barnes
- Fonction : Auteur
Nicolas Chevalier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 870970
Denis Mariolle
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1355118
- IdHAL : denis-mariolle
François Bertin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 867454
Corentin Durand
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20071
- IdHAL : corentin-durand
- ORCID : 0009-0003-0089-2678
- IdRef : 167184784
Maxime Berthe
- Fonction : Auteur
- PersonId : 744929
- IdHAL : maxime-berthe
- ORCID : 0000-0002-3918-7111
- IdRef : 121162656
François Martin
- Fonction : Auteur
Chloé Thieuleux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738752
- IdHAL : chloe-thieuleux
- ORCID : 0000-0002-5436-2467
- IdRef : 070440158
B. Grandidier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 740217
- IdHAL : bruno-grandidier
- ORCID : 0000-0001-6131-7309
- IdRef : 084580135
Christophe Copéret
- Fonction : Auteur
- PersonId : 758776
- ORCID : 0000-0001-9660-3890
- IdRef : 092786375