A damascene process for gold micro- and nanostructures - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02079223 , version 1 (25-03-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02079223 , version 1

Citer

Mouawad Merhej, Drouin D., B. Salem, Ecoffey S.. A damascene process for gold micro- and nanostructures. Micro-Nano Engineering, Sep 2016, Vienne, Austria. ⟨hal-02079223⟩
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