CMOS BEOL compatible process for the fabrication of single electron transistors, using TiN/Al2O3/TiN junctions - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02079220 , version 1 (25-03-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02079220 , version 1

Citer

Sang B. Lee, Ecoffey S., Monfray S., Drouin D.. CMOS BEOL compatible process for the fabrication of single electron transistors, using TiN/Al2O3/TiN junctions. 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE 2016, Sep 2016, Vienne, Austria. ⟨hal-02079220⟩
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