Communication Dans Un Congrès
Année : 2016
UMI3463 LN2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02079220
Soumis le : lundi 25 mars 2019-19:12:59
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:48:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02079220 , version 1
Citer
Sang B. Lee, Ecoffey S., Monfray S., Drouin D.. CMOS BEOL compatible process for the fabrication of single electron transistors, using TiN/Al2O3/TiN junctions. 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE 2016, Sep 2016, Vienne, Austria. ⟨hal-02079220⟩
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