PEALD of Pt nanoparticles: towards the development of single electron transistors and flexible strain sensors - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

PEALD of Pt nanoparticles: towards the development of single electron transistors and flexible strain sensors

Etienne Puyoo
Martine Le Berre
Liviu Militaru
Rémi Rafael
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02075020 , version 1 (21-03-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02075020 , version 1

Citer

Etienne Puyoo, Daniel Thomas, Martine Le Berre, Liviu Militaru, Christophe Malhaire, et al.. PEALD of Pt nanoparticles: towards the development of single electron transistors and flexible strain sensors. RAFALD (Réseau des Acteurs Français de l’ALD), Nov 2018, Lyon, France. ⟨hal-02075020⟩
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