Highly Performant Integrated pH-Sensor Using the Gate Protection Diode in the BEOL of Industrial FDSOI - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Highly Performant Integrated pH-Sensor Using the Gate Protection Diode in the BEOL of Industrial FDSOI

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-02073379

Soumis le : mardi 19 mars 2019-20:02:14

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:48:02

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02073379 , version 1 (19-03-2019)

Identifiants

Citer

G. Ayele, S. Monfray, S. Ecoffey, F. Boeuf, J-P. Cloarec, et al.. Highly Performant Integrated pH-Sensor Using the Gate Protection Diode in the BEOL of Industrial FDSOI. 2018 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM), Dec 2018, San Francisco, United States. pp.12.3.1-12.3.4, ⟨10.1109/IEDM.2018.8614713⟩. ⟨hal-02073379⟩

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