Highly Performant Integrated pH-Sensor Using the Gate Protection Diode in the BEOL of Industrial FDSOI
G. Ayele
(1, 2)
,
S. Monfray
(3)
,
S. Ecoffey
(1, 2)
,
F. Boeuf
(3)
,
J-P. Cloarec
(4)
,
D. Drouin
(5, 1, 2)
,
A. Souifi
(6)
1
LN2 -
Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes
2 3IT - Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
4 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
5 UdeS - Université de Sherbrooke
6 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
2 3IT - Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
4 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
5 UdeS - Université de Sherbrooke
6 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
S. Ecoffey
- Fonction : Auteur
- PersonId : 182943
- IdHAL : serge-ecoffey
- ORCID : 0000-0002-3002-501X
- IdRef : 253123844
J-P. Cloarec
- Fonction : Auteur
- PersonId : 748228
- IdHAL : jean-pierre-cloarec