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Article Dans Une Revue Micron Année : 2014

Practical aspects of strain measurement in thin SiGe layers by (004) dark-field electron holography in Lorentz mode

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02071149 , version 1 (18-03-2019)

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Citer

Thibaud Denneulin, D. Cooper, J.L. Rouvière. Practical aspects of strain measurement in thin SiGe layers by (004) dark-field electron holography in Lorentz mode. Micron, 2014, 62, pp.52-65. ⟨10.1016/j.micron.2014.02.017⟩. ⟨hal-02071149⟩
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