Complex permittivity characterization of benzocyclobutene for terahertz applications

Etienne Perret; Nicolas Zerounian; Sylvain David; Frédéric Aniel

doi:10.1016/j.mee.2008.07.008

Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2008

Complex permittivity characterization of benzocyclobutene for terahertz applications

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Etienne Perret

Fonction : Auteur
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Laboratoire de Conception et d'Intégration des Systèmes

Nicolas Zerounian

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Sylvain David

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Soumis le : mercredi 13 mars 2019-16:04:03

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:22:44

Dates et versions

hal-02066701 , version 1 (13-03-2019)

Identifiants

HAL Id : hal-02066701 , version 1
DOI : 10.1016/j.mee.2008.07.008

Citer

Etienne Perret, Nicolas Zerounian, Sylvain David, Frédéric Aniel. Complex permittivity characterization of benzocyclobutene for terahertz applications. Microelectronic Engineering, 2008, 85 (11), pp.2276-2281. ⟨10.1016/j.mee.2008.07.008⟩. ⟨hal-02066701⟩

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