Design of bossed silicon membranes for high sensitivity microphone applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microsystem Technologies Année : 2007

Design of bossed silicon membranes for high sensitivity microphone applications

P. Martins
S. Beclin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 844516
S. Brida
  • Fonction : Auteur
S. Metivet
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 844517
O. Stojanovic
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02051243 , version 1 (27-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02051243 , version 1

Citer

P. Martins, S. Beclin, S. Brida, S. Metivet, O. Stojanovic, et al.. Design of bossed silicon membranes for high sensitivity microphone applications. Microsystem Technologies, 2007, 13 (11-12), pp.1495-1500. ⟨hal-02051243⟩
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