Article Dans Une Revue
Microsystem Technologies
Année : 2007
Christophe Malhaire : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02051243
Soumis le : mercredi 27 février 2019-16:08:58
Dernière modification le : dimanche 7 janvier 2024-15:45:56
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02051243 , version 1
Citer
P. Martins, S. Beclin, S. Brida, S. Metivet, O. Stojanovic, et al.. Design of bossed silicon membranes for high sensitivity microphone applications. Microsystem Technologies, 2007, 13 (11-12), pp.1495-1500. ⟨hal-02051243⟩
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