Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 1998
Dauverchain Eric : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02048544
Soumis le : lundi 25 février 2019-16:01:23
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:09
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02048544 , version 1
- DOI : 10.1016/S0040-6090(97)01053-5
Citer
A. Boulouz, Alain Giani, M. Boulouz, A. Boyer. Influence of substrate temperature and target composition on the properties of yttria-stabilized zirconia thin films grown by r.f. reactive magnetron sputtering. Thin Solid Films, 1998, 323 (1-2), pp.85-92. ⟨10.1016/S0040-6090(97)01053-5⟩. ⟨hal-02048544⟩
Collections
12
Consultations
0
Téléchargements