Ultrahigh-Sensitive and CMOS Compatible ISFET Developed in BEOL of Industrial UTBB FDSOI - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Ultrahigh-Sensitive and CMOS Compatible ISFET Developed in BEOL of Industrial UTBB FDSOI

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Jean-Pierre Cloarec  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02047342

Soumis le : dimanche 24 février 2019-12:48:11

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:29:32

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Dates et versions

hal-02047342 , version 1 (24-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02047342 , version 1

Citer

Getenet Tesega Ayele, Stephane Monfray, Serge Ecoffey, Frédéric Boeuf, Romain Bon, et al.. Ultrahigh-Sensitive and CMOS Compatible ISFET Developed in BEOL of Industrial UTBB FDSOI. 2018 IEEE Symposium on VLSI Technology, Jun 2018, Honolulu, United States. pp.97-98. ⟨hal-02047342⟩

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