A high Q 2D length-extension mode quartz resonator for potential time-frequency applications
Résonateur à quartz en mode extension de longueur Q 2D élevé pour applications potentielles temps-fréquence
Résumé
In this paper, high quality factor two dimensional length-extension mode (2D-LEM) quartz resonator showing promising performances for Time & Frequency (T&F) applications are reported. They combine the intrinsic qualities of quartz (high Q, low temperature sensitivity and piezoelectricity) and the advantages of silicon resonators: small dimensions, low power consumption and collective processes. Several processes have been investigated as well as several sizes and designs of resonators. A high quality factor (Q), exceeding 200 000, two dimensional length-extension mode (2D-LEM) quartz resonator vibrating at 2.2 and 3 MHz.
Cet article présente un résonateur plan en quartz vibrant dans un mode d'extensions-compression de longueur pour potentielles applications dans le domaine du temps-fréquence. Ce résonateur combine les qualités intrinsèques du quartz telles: un facteur de qualité élevé, une faible sensibilité à la température et l'actionnement linéaire ainsi que les avantages des procédés de fabrication des résonateurs en silicium: des dimensions réduites, une consommation réduite et des procédés collectifs. Plusieurs procédés de fabrications ont été étudiés ainsi que plusieurs conceptions et tailles de dispositifs. Un très haut facteur de qualité dépassant les 200 000 pour des résonateurs vibrant à 2.2 et 3 MHz a pu être ainsi obtenu.
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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