Fine control of critical dimension for the fabrication of large bandgap high frequency photonic and phononic crystals
J. Cuffe
(1)
,
D. Dudek
(2)
,
N. Kehagias
(2)
,
V. Reboud
(3)
,
Pierre-Olivier Chapuis
(4)
,
F. Alsina
(5)
,
J. Mcinerney
(6)
,
C.M. Sotomayor Torres
(5)
1
UAB -
Universitat Autònoma de Barcelona = Autonomous University of Barcelona = Universidad Autónoma de Barcelona
2 ICN2 - Catalan Institute of Nanoscience and Nanotechnology
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 CETHIL - Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
5 ICN2 - ICN2 - Institut Catala de Nanociencia i Nanotecnologia
6 UCC - University College Cork
2 ICN2 - Catalan Institute of Nanoscience and Nanotechnology
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 CETHIL - Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
5 ICN2 - ICN2 - Institut Catala de Nanociencia i Nanotecnologia
6 UCC - University College Cork
Pierre-Olivier Chapuis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171286
- IdHAL : pierre-olivier-chapuis
- ORCID : 0000-0002-6264-2530
- IdRef : 191202266